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產品名稱：石英舟(管)清洗機
功能簡介：用于硼擴磷擴LPCVD等石英舟石英管的清潔處理
工藝流程：酸洗→水洗→ 烘干
設備特點：整機為封閉結構，避免環(huán)境污染；設備具備節(jié)水設計功能，具有后槽溢流水收集到噴淋槽重復利用功能；具備自動配補液系統(tǒng)，補液精度高；
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產品名稱 |
石英舟(管)清洗機 |
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型號 |
KSZDSYZ |
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適用工藝路線 |
TOPCON、PERC |
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功能簡介 |
用于硼擴磷擴LPCVD等石英舟石英管的清潔處理 |
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工藝流程 |
酸洗→水洗→ 烘干 |
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適用石墨舟尺寸 |
"小舟：432mm*221mm*212mm(L*W*H) |
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產能 |
42+套/天（產能可根據需求客制化） |
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功率/電壓 |
主機臺：40KW /380V 50Hz 3 相 5 線制 |
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設備特點 |
整機為封閉結構，避免環(huán)境污染；設備具備節(jié)水設計功能，具有后槽溢流水收集到噴淋槽重復利用功能；具備自動配補液系統(tǒng)，補液精度高； |